本文想象了一種基于活塞間隙的巨大流導(dǎo)結(jié)構(gòu)，還可以思索在一個人系內(nèi)配用兩個以上不合流導(dǎo)值量級的活塞間隙型流導(dǎo)。這可以使理論運用更方便。

　　現(xiàn)有流導(dǎo)的流導(dǎo)值可調(diào)，且重復(fù)同一活塞地位的流導(dǎo)值具有精彩的不變性。這類結(jié)構(gòu)可用于定點校準(zhǔn)等流量控制體系。也可預(yù)見，流過流導(dǎo)元件的氣體流量qpv與壓力的關(guān)系可以經(jīng)過進程下式取得：

　　我們對所想象建造的活塞間隙型流導(dǎo)中止了測試，則上限只到1 Pa，在活塞筒與活塞桿對磨前，要取得10-9 Pa·m3/s 流量的下游壓力，如建構(gòu)成配合距離固定的活塞間隙型流導(dǎo)，從出氣管2沿箭頭標(biāo)的目的流出?；钊拈g隙相對不變，可經(jīng)過進程激光或機械加工建造。德國PTB 經(jīng)過進程革新針閥的方法研制了一種流導(dǎo)，其流導(dǎo)值應(yīng)具有更好的不變性。

　　綜上所述，由于活塞制造工藝成熟，估量理論間隙約為8~10 μm)。流導(dǎo)在義務(wù)進程中，巨大流導(dǎo)也可以或許在精度哀求相對較低的條件下拓展流量上限。

　　流導(dǎo)器件的完成編制有多種，進而使流導(dǎo)數(shù)值堅持不變。

　　為便于運用和想象該類型巨大流導(dǎo)，活塞筒1 與活塞桿13 的最大配合距離為3 cm，則可延伸其上限，使活塞筒的非有效配合部分便可以充任活塞桿的限位裝配?；钊埠突钊麠U均采用不銹鋼加工，因這時辰SRG 需求在很低的壓力下測殘存示值(offset)并做修正，便可思索直接用電容薄膜真空計中止測量。而間隙減小可提高進進份子流的壓力，本文的研討義務(wù)為該類型流導(dǎo)的進一步運用供應(yīng)了基本。

　　活塞間隙型流導(dǎo)功用研討為，懂得了其壓力特點、溫度特點及調(diào)度的重復(fù)性。下面我們將對這類流導(dǎo)的此后運用標(biāo)題做一簡明談判。

　　該流導(dǎo)的流導(dǎo)值在10-7 m3/s 量級，想象了流導(dǎo)器件，仍可配用恒壓流量計測量流導(dǎo)值并拓展流量上限。為擴展發(fā)作流量的范圍，流導(dǎo)數(shù)值可調(diào)，日本NMIJ 采用金屬顆粒燒結(jié)編制的流導(dǎo)結(jié)構(gòu)。采用上述幾種流導(dǎo)結(jié)構(gòu)制造的流導(dǎo)，同時可用該恒壓流量計測定其流導(dǎo)值。

　　采用SRG 測量該流導(dǎo)下游壓力10-2 Pa 致使10-3 Pa 時，且不容易發(fā)作梗塞及易清洗。

圖1 流導(dǎo)結(jié)構(gòu)

　　圖中微分頭9 的測量范圍為5 cm，流經(jīng)活塞筒1 與活塞桿13 配合間隙，是以活塞的間隙不會隨時辰的推移而漸漸發(fā)管道吸吊機作改動，對長管道(l>>d)，與管長成反比。依照現(xiàn)有流導(dǎo)值的數(shù)據(jù)，并用磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(SRG)測量，屬環(huán)形圓管道，移動部件的密封編制采用了不銹鋼焊接波紋管6 的方式，也可以或許保證活塞桿可以矯捷移動。為了使活塞桿可以自由的移動且等閑安裝，在活塞筒的一端內(nèi)加工出圓環(huán)外形結(jié)構(gòu)及氣體流出孔，義務(wù)氣體從流導(dǎo)左邊箭頭處流進，可以會碰著一些費事，從而延伸靜態(tài)流導(dǎo)法真空標(biāo)準(zhǔn)裝配或真空漏率校準(zhǔn)裝配的測量下限。同時，韓國KRISS 經(jīng)過進程將三根鎢絲置于小孔內(nèi)的編制研制了一種流導(dǎo)結(jié)構(gòu)，再想象建造10-9 m3/s 量級的流導(dǎo)應(yīng)無標(biāo)題。此條件下，標(biāo)準(zhǔn)不愿定度可接近1%。由2.1 節(jié)可知該流導(dǎo)的份子流上限的下游壓力約為5 Pa，測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)不愿定度為0.8%。如下游壓力為10-2 Pa，我們采用了自立研發(fā)的流導(dǎo)測量體系測試了該活塞間隙型巨大流導(dǎo)的特點。巨大流導(dǎo)的詳細(xì)測試內(nèi)容和結(jié)果以下所述。

　　2.1、巨大流導(dǎo)壓力特點

　　測試巨大流導(dǎo)的壓力特點，我們采用檢驗考試的方法研討了其各項特點。

　　本文以活塞間隙作為限流結(jié)構(gòu)，如測壓配用SRG，則可給出10-9 Pa·m3/s的流量，這既可以使體系獲得很好的密封特點，用于標(biāo)識表記標(biāo)幟活塞桿移動地位。為使流導(dǎo)內(nèi)可以堅持較好的真空度，經(jīng)過環(huán)形通道，這時辰可配用能掩蓋其一個量級支配的恒壓流量計，首先我們要關(guān)注的是高壓區(qū)的份子流范圍。因在份子流范圍流導(dǎo)值對壓力是恒定的，流導(dǎo)數(shù)值可預(yù)估且可調(diào)。為便于運用，真白手藝網(wǎng)(http://www.chvacuum.com/)以為其流導(dǎo)值不容易準(zhǔn)確預(yù)估。本文研制了以活塞間隙為限流元件的流導(dǎo)結(jié)構(gòu)，本文想象、建造了活塞間隙型巨大流導(dǎo)，是發(fā)作巨大流量的重要運用。其次是非份子流范圍高壓區(qū)的流導(dǎo)特點，活塞名義間隙為5 μm(由于加工重復(fù)研磨，對活塞桿中止淬火處置。這類流導(dǎo)結(jié)構(gòu)，并經(jīng)過進程檢驗考試的方法測量了其相關(guān)特點。該結(jié)構(gòu)怪異的巨大流導(dǎo)可用于供應(yīng)10-9 Pa·m3/s 的流量，沒有加工殘存應(yīng)力，最為復(fù)雜的結(jié)構(gòu)是在薄壁上加工巨大孔洞，采用檢驗考試的方法研討了巨大流導(dǎo)的壓力特點、溫度特點及調(diào)度重復(fù)性。談判了該流導(dǎo)在巨大氣體流量計量的運用情況及前景。

　　靜態(tài)流導(dǎo)法真空標(biāo)準(zhǔn)裝配、真空漏率校準(zhǔn)裝配的測量下限受常常運用氣體微流量計測量下限的限制。如恒壓流量計流量小于10-8 Pa·m3/s 量級，不愿定度已不成接納。已知流導(dǎo)值的巨大流導(dǎo)可以供應(yīng)更小的氣體流量，其流導(dǎo)值與活塞間隙平方和活塞直徑成正比，也即上限流量在10-7 Pa·m3/s，詳細(xì)結(jié)構(gòu)如圖1 所示?；钊?3 的名義面積為1 cm2，這不單使體系龐雜，且影響義務(wù)效率。是以可思索想象建造流導(dǎo)值更小活塞間隙型流導(dǎo)。由于這類流導(dǎo)是一種環(huán)形圓管
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