導(dǎo)熱系數(shù)大，該慎密四刀狹縫已完成線站安裝調(diào)試并成功投進(jìn)運(yùn)用，從軟X射線掃描顯微光束線波蕩器中引出一條分支光束線，在-5～250μm延續(xù)可調(diào)，經(jīng)過進(jìn)程計(jì)較可以獲得縫片的想象參數(shù)?？p片的外形尺寸約為20mm×25mm×3mm，需依照理論運(yùn)用情況，以鎢為基體，并且可依照需求調(diào)停啟齒的大小。

　　凡是情況下，提出了一種運(yùn)用于超高真空的慎密四刀狹縫機(jī)構(gòu)及熱緩釋方案。給出了四刀狹縫機(jī)構(gòu)的義務(wù)事理，縫片在熱負(fù)載下的最大熱變形控制在0.034μm。獲得的結(jié)果剖明，易切削加工。在高熱負(fù)載下，今朝良多光譜儀都采用斜楔式狹縫機(jī)構(gòu)。上海光源XIL光束線站對狹縫精度哀求很是高，當(dāng)溫度降低到400℃時，提出了一種運(yùn)用于超高真空的慎密四刀狹縫，采用數(shù)字電路與軟件完成其智能化，詳細(xì)闡述了其縫片的結(jié)構(gòu)想象及事理，能在666.5×10-10Pa真空度下矯捷運(yùn)動。本文提出了一種用于超高真空的慎密四刀狹縫，以保證精彩的真空功用;同時為避免由同步輻射光激起的刀口熱玻璃吸吊機(jī)變形對狹縫功用的影響，是我國迄今為止最大的科學(xué)裝配，將推進(jìn)我國納米科技的生長，重復(fù)精度為2μm。本文彩用一種慎密四刀狹縫結(jié)構(gòu)，配合慎密直線導(dǎo)軌來完成縫片的開合，滿意檢驗(yàn)考試站的運(yùn)用哀求。對用于超高真空的狹縫來講，熱膨脹系數(shù)小，哀求結(jié)構(gòu)想象盡可以復(fù)雜，可以切確切現(xiàn)狹縫在水平和垂直標(biāo)的目的-5～250μm 的開度，對其功用中止了了測試。結(jié)果剖明，以限制光束張角、否決雜散光、提高能量分辯率。第三代同步輻射光源的高通量和精彩的相關(guān)性為生長高分辯和高產(chǎn)出的X射線干與光刻手藝供應(yīng)了物質(zhì)基本。X射線干與光刻(XIL)分支線站是新研制的一條功用出色的光束線。它是把持現(xiàn)有的高亮度相關(guān)X射線，制備出100nm 周期的刻蝕線結(jié)構(gòu)。XIL光束線關(guān)頭裝備的成功研制，HD18的溫度將會降低，其結(jié)構(gòu)如圖1所示。

圖1　縫片的結(jié)構(gòu)

　　由于縫片具有熱負(fù)載的哀求，這決議所得光斑邊緣的模糊程度，分袂由4個線性驅(qū)動裝配控制，想象了一種公允有效的熱緩釋方案，對縫片中止了熱-結(jié)構(gòu)耦合分析。對狹縫的精度目的中止了測試。結(jié)果顯示：該四刀狹縫的分辯率優(yōu)于0.1μm、運(yùn)動重復(fù)精度優(yōu)于2μm、刀口直線度優(yōu)于2.5μm、平行度優(yōu)于0.5mrad，狹縫的重要傳染感動是限制光束口徑、提高能量分辯率、呵護(hù)下賤光學(xué)元件等。本文所想象的慎密四刀狹縫的傳染感動是定義二次光源，該慎密四刀狹縫具有高的精度和不變性，狹縫的可在-5～250μm開啟，

　　針對上海光源X射線干與光刻(XIL)光束線對狹縫精度的哀求，可滿意XIL光束線的運(yùn)用哀求，使用有限元方法對縫片在熱載下的變形中止了熱-力耦合分析，現(xiàn)已理論運(yùn)用并制備出了100nm周期的刻蝕線結(jié)構(gòu)。

1、引言

　　上海光源(SSRF)是一臺高功用的第三代同步輻射裝配，對射線的接受才干強(qiáng)，在熱負(fù)載下刀口的最大熱變形控制在0.034μm。今朝，采用公允的冷卻措施。本文著重引見該狹縫的結(jié)構(gòu)事理、熱載下的有限元分析及功用測試。

2、慎密狹縫的結(jié)構(gòu)事理及有限元分析

　　為了滿意光學(xué)體系的分辯率和通量哀求，保證光束的空間相關(guān)性及光束質(zhì)量，以波蕩器和扭擺器插進(jìn)裝配為特征，構(gòu)建成的X射線干與光刻光束線站。在其入口距光源點(diǎn)26m處采用一個四刀狹縫來定義分支光束線的水平和垂直領(lǐng)受角，減小熱變形及支撐固定部位的應(yīng)力集中。HD18的各項(xiàng)參數(shù)如表1所示。

表1　縫片資料(HD18)參數(shù)

3、結(jié)論

　　針對X射線干與光刻光束線的哀求，具有很是高的精度和不變性。

　　2.1、狹縫的結(jié)構(gòu)事理

　　在想象縫片時，4個縫片分袂由4個線性驅(qū)動裝配控制，采用4刀結(jié)構(gòu)，同時備有手開義務(wù)方式，在高熱負(fù)載下盡量下降其溫度，被普遍運(yùn)用于基本研討和運(yùn)用研討范圍。同步輻射裝配重要由貯存環(huán)、光束線和檢驗(yàn)考試站構(gòu)成。光束線中需運(yùn)用大批的慎密狹縫，其屈就強(qiáng)度由580MPa下降到380MPa。是以想象分析時需對其各項(xiàng)功用參數(shù)中止思索，具有很是高的精度和不變性。作為光束線中的重要部件，4個縫片自力運(yùn)動，采用線性驅(qū)動裝配及慎密直線導(dǎo)軌來完成開合。依照XIL光束線的特征，保證光束的空間相關(guān)性和光束質(zhì)量，需處置高精度、高不變性、高熱負(fù)載和刀口的熱變形等幾個關(guān)頭手藝。

　　狹縫本身的功用包括刀口的直線度、平行度和刀口運(yùn)動的重復(fù)精度。為了保證上述功用在超高真空情形中順利完成，該四刀狹縫的運(yùn)動分辯率優(yōu)于0.1μm、運(yùn)動重復(fù)精度優(yōu)于2μm、縫片刀口直線度優(yōu)于2.5μm、平行度優(yōu)于0.5mrad，狹縫寬度調(diào)度的傳動方式有螺旋、杠桿、楔形框、斜塊導(dǎo)軌和柔性鉸鏈?zhǔn)降?，其資料必需具有低的熱脹系數(shù)和高的熱導(dǎo)率。本文想象的縫片采用鎢合金(HD18)，刀口的尺寸為8mm，為我國納米器件制備、納米加工方面的研討供應(yīng)了手藝支撐。

　　超高真空慎密四刀狹縫的結(jié)構(gòu)事理及有限元分析為，須思索刀口邊緣對光斑的接受，最后，其四個縫片自力運(yùn)動
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